应用案例
Application Cases
上海极清慧视科技有限公司针对8英寸、12英寸晶圆缺陷检测提出了8K超高清集成电路检测图像采集平台的解决方案,帮助机器视觉检测技术做到更高效、更准确、更具有经济效益的晶圆缺陷检测,以取代进口的晶圆缺陷检测设备或原来用人工视觉检测的工艺和流程。
高分辨、大靶面更具优势,经过合理的光源系统设计,获取晶圆表面的8K图像,可分辨晶片尺寸以及破损、裂粒、裂痕、气孔、镍层等缺陷。
配合极清慧视自研的显微装备,可以获得彩色(黑白)的显微影像。图示“显微图像”是晶圆表面的一小区域。